太陽能是未來代替化石能源的主要清潔可再生新能源之一。薄膜太陽能電池作為目前非常有前景的一種相對較成熟的太陽能電池,具有原料節省、成本低、弱光吸收性好、可制作大面積電池片等優勢。
而激光切割已經成為集成型太陽能薄膜電池的重要技術,對制造大面積的集成型-Si太陽能薄膜電池有很大吸引力,能有效地簡化電池的制作工序。相對于掩膜法切割,激光切割可以降低成本,增大整個電池的有效面積。因此,激光切割成為集成型-Si太陽能電池的重要技術之一。
目前,應用的激光切割工藝是通過近紅外(1064nm)和綠光(532nm)相結合實現的。這兩種波長的激光與材料的相互作用是通過熱傳導傳遞能量的熱效應,切割過程中熱傳導必然會引起切割邊緣的熱影響區和造成切割邊緣非晶硅薄膜的晶化及缺陷濃度的變化。這些因素都會降低電池的光電轉換效率,甚至會增強電池光致衰減效應。紫外(355nm)激光刻蝕是利用其波長短,光子能量大,從而能直接打斷非晶硅鏈接物質原子組分的化學鍵,實現加工效果的“冷”加工,減小了刻蝕邊緣的熱影響及其引起的晶化和缺陷濃度。
薄膜太陽能電池工藝已趨于成熟,制造成本低,且不受晶硅原料瓶頸的制約,已成為太陽能電池中最成熟的產品,對整個潔凈可再生能源發展起了巨大的推動作用。
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